用7500万美元购买一台二手光刻机,看来它不是用来生产芯片的吗?
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目前,主流的一线光刻机主要分为i线光刻机,KrF光刻机,ArF光刻机,ArFi光刻机和EUV光刻机。其中,EUV光刻机具有最高的技术含量和最昂贵的价格。
雕刻机。不同型号的光刻机使用匹配的光刻胶。
9月29日上午,精锐(300655,SH)发布了购买设备的公告。为了开发用于集成电路制造的高端光刻胶研发项目,该公司与SK Hynix(即SK Hynix)签订了设备进口合同。
进口的ASML光刻设备,进口代理是Singlest Technology PTE.LTD。 ,总价为1102.5万美元(约合7500万元人民币)。
同时,京瑞股份还披露了其计划向未指定对象发行可转换公司债券的计划。计划筹集5.5亿元,其中3.13亿元用于集成电路制造高端光刻胶研发项目。
据悉,晶锐是平台型微电子材料高新技术企业,专注于泛半导体材料和新能源材料两个方向。其主导产品包括超清洁和高纯度试剂,光致抗蚀剂,功能材料,锂电池材料和基础化学材料等。
精锐股份表示:“合同的顺利履行可以确保关键设备的技术进步。用于集成电路制造和设备的高端光致抗蚀剂研发项目已经到位并按计划投产,这对项目进度的加快产生了积极的影响。
此交易有利于进一步的改进。该公司光刻胶产品的核心竞争力将有助于实施公司的发展战略,并提高公司抵抗风险和可持续发展的能力。
” 9月29日上午,《每日经济新闻》记者致电静瑞的秘书办公室。工作人员向记者证实,购买的光刻机是二手设备,主要目的是研究而不是制造。
对于精锐公司购买的光刻机,可以生产多少种纳米工艺产品,该工作人员说,他们需要与技术人员进一步确认。当记者下午再次致电时,京瑞股份仍在确认中。
京瑞股份在发行可转债的可行性分析报告中披露,“(公司)旨在通过自主研发开辟ArF光刻胶树脂的工艺合成路线,并完成ArF试点示范生产线的建设。光刻胶树脂。
,以满足其自身ArF光刻胶的性能要求。实现用于ArF浸没(即ArFi)光刻胶的批量生产和完整产品定型的整套技术系统。
技术指标和工艺性能满足45-14nm集成电路技术和生产工艺的要求。也就是说,经晶锐有限公司研究的光致抗蚀剂项目,该产品可用于14nm芯片生产。
值得一提的是,2020年6月,精锐股份有限公司的子公司苏州瑞宏与合肥长新在“长江综合开发重大合作事项签约仪式”上签署了与光致抗蚀剂相关的合作协议。 Delta”。
彩虹半导体和长兴存储等下游客户共同推动了高端光致抗蚀剂产品的开发和应用。可以理解,光致抗蚀剂领域已经被日本,欧洲和美国公司垄断了许多年。
目前,排名前五位的制造商占全球光刻胶市场的87%,并且该行业具有高度的集中度。国内光刻胶的开发起步较晚,产能主要集中在PCB光刻胶和TN / STN-LCD光刻胶等低端产品,而TFT-LCD和半导体光刻胶等高端产品仍需大量进口。
。目前,适用于6英寸硅片的g线和i线(i线)光刻胶的自给率约为20%,适用于8英寸硅片的KrF光刻胶的自给率。
小于5%。用于12英寸硅晶片的ArF光刻胶基本上取决于进口。
早在2018年,晶锐有限公司就完成了i-line上的02国家重大专项的光致抗蚀剂子项目的研发任务,并顺利通过了国家验收。上市公司统计。
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