先进能源的射频功率产品一直处于行业领先地位，并且不断推出这些产品以满足半导体行业和工业产品制造商的严格要求
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北京，中国媒体2021年1月20日，美国先进能源工业公司一直致力于开发各种先进的高精度电源转换，测量和控制系统以及其他解决方案。一直引领世界。
该公司推出了新的派拉蒙HP 10013射频电源。新产品发布后，该公司的旗舰产品派拉蒙RF（射频）电源系列将有更多型号可供选择。
Advanced Energy的等离子处理设备电源系统适用于半导体和等离子薄膜处理设备，例如半导体蚀刻，电介质蚀刻，沉积，溅射，离子注入等。派拉蒙HP 10013继续使用该等离子处理电源一直以来都是技术的市场领导者，但性能得到进一步提高。
例如：派拉蒙HP 10013可以确保派拉蒙13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率。优点是它可以提供具有较低平均功率的高能量脉冲，以确保脉冲功率的准确性和可用性。
可重复性。更高的功率可以增加等离子体密度和离子能量，以支持更快，更深的等离子体蚀刻工艺步骤，并缩短沉积工艺时间，以满足先进的高深宽比蚀刻工艺和新一代应用的要求。
Advanced Energy半导体和计算产品高级副总裁Peter Gillespie表示：“市场上的许多产品，包括消费类产品，娱乐设备，工业产品，计算系统和运输工具，几乎都使用集成电路。根据这种发展趋势。
，高精度过程设备动力系统的应用将越来越广泛。我们的行业必须满足这些不断增长的需求，并克服各种挑战。
Advanced Energy的派拉蒙产品系列是第一个采用脉冲射频技术的产品。可以批量生产的一系列全数字射频电源系统。
Advanced Energy这次将推出更高功率的产品，从而使我们的客户能够使用创新技术来开发更复杂的三维系统架构和全新的材料。”派拉蒙数字平台该架构支持精确的电源管理，无需更换硬件即可更快地集成新功能。
全数字控制功能可以跟踪等离子体的变化以进行动态和实时检测，并可以提供大功率输出并确保性能的可重复性。内置的数字接口确保该平台可以与其他RF电源同步运行，并且还可以无缝连接到Advanced Energy系列领先的对等Navigator和Navigator II数字匹配网络系列。
派拉蒙系列平台是当前半导体行业中最受欢迎的等离子处理设备电源解决方案。
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