电容式传感器的核心部分是具有可变参数的电容器。

如果忽略边缘效应，平板电容器的电容C =εA/δ，其中ε是电极间介质的介电常数，A是两个电极覆盖的有效面积，δ是两个电极之间的距离。

三个参数δ，A，ε中的任何一个的变化将引起电容的变化。

如果保持其中两个不变，但只更改其中一个参数，则可以将参数的变化转换为电容变化。

测量电路可以转换为功率输出。

根据不同的测量原理，电容式传感器可分为可变面积传感器;可变杆距离传感器;可变介质传感器。

极距变化通常用于测量小极距变化。

面积变化通常用于测量角位移或大线位移。

介质变化通常用于液位测量和各种介质的温度，密度和湿度的确定。

非接触式测量;低功耗，高阻抗;具有高输出阻抗的小数十至数百微法;低热影响;低动态质量，高固有频率动态响应;低静电吸引力（板之间），所需的工作量非常小。